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第155章 组装光刻机第一片芯片（第1页）

首先,指挥几名壮实的搬运工,小心翼翼地将预先加工好的机床运到实验区最核心的区域。

这台机床经过精心设计,采用整块超硬合金材料锻造而成,具有极高的刚性和减震性能,是保证光刻机达到微纳米级加工精度的重要基石。

搬运工经过赵阳的细致指导,耐心调整机床的方位和高度,直到达到精确的水平才牢牢固定,确保机床的定位精度达到设计要求。

接下来,赵阳叫来几名熟练的技术员,开始指导他们把减速电机、丝杠传动系统连接到机床上。

这套丝杠系统采用进口的高精度滚珠丝杠和线性导轨,能够实现精确的直线运动。

技术人员在赵阳的监督下耐心调试,确保了运动的准直度和重复定位精度达到 0.1 微米。

然后,赵阳小心翼翼地打开一个保护箱,取出里面组装好的光学系统安装到机床上。

这个系统包含数块精心打造的透镜、数种不同波长的滤光片和准直器,是光刻机的核心部件。

是赵阳利用小世界里的加工车间搞出来的。

也正是因为有小世界的车间，才能搞出这部分最关键的配件。

它经过长时间的组装调试,已经达到了精密的光学参数指标。

在确保光学系统的口径和位置精确对准后,赵阳又指导技术员来调试光源系统的连接。

他们打开准备好的半导体激光器的外壳,露出里面复杂的光学腔体,小心翼翼地调整输出头的位置和角度,直到光束精确对中光学系统的输入孔为止。

“好,看起来都对准了。”赵阳检查了光路之后满意地说,“来,我们测试一下光源的输出功率和光斑稳定性。”

说完,他启动了激光器的电源,一束近乎完美的平行激光穿过整个光学系统,准确打在样品台上,光点中心鲜亮,边界清晰。

测试了光斑参数,确保发光功率稳定、光斑均匀。

最后,赵阳又指导大家把精密的样片夹具台装在丝杠传动的移动工作台上,同时让人连接好了各种电源线与控制线。